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儀器設備列表
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微影製程
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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Multi Steps / 2 Steps Spin Coater
多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機
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卓越大樓 黃光室
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呂國聖
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SUSS MA8/BA8
曝光機MA8/BA8
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卓越大樓 黃光室
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呂國聖
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SUSS MA6/BA6
曝光機MA6/BA6
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卓越大樓 黃光室
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呂國聖
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Laser lithography DWL2000
雷射繪圖機
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卓越大樓 黃光室
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呂國聖
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不開放使用者使用
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Digital Hot Plate
加熱板
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卓越大樓 黃光室
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黃詩淳
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Oven
烘箱
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卓越大樓 黃光室
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黃詩淳
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乾式蝕刻
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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ICP-RIE(Samco)
矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機
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卓越大樓 乾蝕刻室
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陳昱達
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ICP-RIE(Oxford)
多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機
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卓越大樓 乾蝕刻室
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陳昱達
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RIE Descum
電漿清洗機
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卓越大樓 乾蝕刻室
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陳昱達
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O2 Plasma
氧電漿清洗機
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卓越大樓 乾蝕刻室
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陳昱達
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薄膜沉積
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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LPCVD
低壓化學氣相沉積系統
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卓越大樓 爐管室
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陳昱達
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APCVD
常壓化學氣相沉積系統
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卓越大樓 爐管室
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陳昱達
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PECVD
電漿輔助化學氣相沉積系統
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卓越大樓 爐管室
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陳昱達
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E-beam Metal
電子束蒸鍍機(金屬)
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卓越大樓 薄膜室
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黃詩淳
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坩堝尺寸
上直徑3.7公分
下直徑2.8公分
高1.75公分
壁厚0.35公分
底厚1公分
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E-beam Oxide
電子束蒸鍍機(氧化物)
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卓越大樓 薄膜室
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黃詩淳
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Sputter
濺鍍機
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卓越大樓 薄膜室
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黃詩淳
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4"靶材使用
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量測分析
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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SEM
掃描式電子顯微鏡
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卓越大樓 分析室
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黃詩淳
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EDS
能量色散光譜儀
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卓越大樓 分析室
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黃詩淳
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Sputter Coater
鍍金機
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卓越大樓 分析室
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黃詩淳
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Surface Profiler
表面輪廓儀
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卓越大樓 分析室
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黃詩淳
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Laser Confocal Microscope
雷射共軛聚焦顯微鏡
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卓越大樓 分析室
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黃詩淳
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Ellipsometer
橢圓偏振儀
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卓越大樓 分析室
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黃詩淳
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Semiconductor Analyzer
半導體參數分析儀
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卓越大樓 分析室
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黃詩淳
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Optical Microscope
光學顯微鏡
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卓越大樓 黃光室
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黃詩淳
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其他製程
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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Rapid Thermal Anneaing
快速熱退火儀
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卓越大樓 爐管室
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黃詩淳
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Ultrasonic Cleaners
超音波清洗器
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卓越大樓 黃光室
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呂國聖
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Chemical Hood
化學清洗槽
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卓越大樓 黃光室、濕蝕刻室
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呂國聖
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Wafer Bonder
晶片接合機
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卓越大樓 黃光室
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呂國聖
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不開放使用者使用
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