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奈米機電系統研究中心

卓越無塵室儀器

 

儀器設備列表

微影製程

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

Multi Steps / 2 Steps  Spin Coater
多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機

卓越大樓 黃光室

呂國聖

 

SUSS MA8/BA8
曝光機MA8/BA8

卓越大樓 黃光室

呂國聖

 

SUSS MA6/BA6
曝光機MA6/BA6

卓越大樓 黃光室

呂國聖

 

Laser lithography DWL2000
雷射繪圖機

卓越大樓 黃光室

呂國聖

不開放使用者使用

Digital Hot Plate
加熱板

卓越大樓 黃光室

黃詩淳

 

Oven
烘箱

卓越大樓 黃光室

黃詩淳

 

乾式蝕刻

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

ICP-RIE(Samco)
矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機

卓越大樓 乾蝕刻室

陳昱達

 

ICP-RIE(Oxford)
多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機

卓越大樓 乾蝕刻室

陳昱達

 

RIE Descum
電漿清洗機

卓越大樓 乾蝕刻室

陳昱達

 

O2 Plasma
氧電漿清洗機

卓越大樓 乾蝕刻室

陳昱達

 

薄膜沉積

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

LPCVD
低壓化學氣相沉積系統

卓越大樓 爐管室

陳昱達

 

APCVD
常壓化學氣相沉積系統

卓越大樓 爐管室

陳昱達

 

PECVD
電漿輔助化學氣相沉積系統

卓越大樓 爐管室

陳昱達

 

E-beam Metal
電子束蒸鍍機(金屬)

卓越大樓 薄膜室

黃詩淳

坩堝尺寸

上直徑3.7公分
下直徑2.8公分
1.75公分
壁厚0.35公分
底厚1公分 
 

E-beam Oxide
電子束蒸鍍機(氧化物)

卓越大樓 薄膜室

黃詩淳

Sputter
濺鍍機

卓越大樓 薄膜室

黃詩淳

4"靶材使用

量測分析

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

SEM
掃描式電子顯微鏡

卓越大樓 分析室

黃詩淳

 

EDS
能量色散光譜儀

卓越大樓 分析室

黃詩淳

 

Sputter Coater
鍍金機

卓越大樓 分析室

黃詩淳

 

Surface Profiler
表面輪廓儀

卓越大樓 分析室

黃詩淳

 

Laser Confocal Microscope
雷射共軛聚焦顯微鏡

卓越大樓 分析室

黃詩淳

 

Ellipsometer
橢圓偏振儀

卓越大樓 分析室

黃詩淳

 

Semiconductor Analyzer
半導體參數分析儀

卓越大樓 分析室

黃詩淳

 

Film Thickness Reflectometer
 反射式膜厚分析儀

卓越大樓 分析室 呂國聖  

Optical Microscope
光學顯微鏡

卓越大樓 黃光室

黃詩淳

 

其他製程

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

Rapid Thermal Anneaing
快速熱退火儀

卓越大樓 爐管室

黃詩淳

 

Ultrasonic Cleaners
超音波清洗器

卓越大樓 黃光室

呂國聖

 

Chemical Hood
化學清洗槽

卓越大樓 黃光室、濕蝕刻室

呂國聖

 

Wafer Bonder
晶片接合機

卓越大樓 黃光室

呂國聖

不開放使用者使用