一、 本中心收費項目及金額，請參閱奈米機電系統研究中心官網收費標準。
二、課程收費 : 請依開課通知信件內提示之虛擬帳號進行繳款，並進行匯款回報，上課前未完成者視同曠課。
三、儀器自行操作收費 : 付款人須核對本中心寄發之儀器使用費收款通知(月結)進行付款，學研界可回覆信件申請預借收據，若十四日內，未進行確認將暫時凍結付款人名下使用者進入實驗室及使用儀器的權利。
四、委託代工收費 : 委託人完成匯款付費後，將安排製程時間。