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(新制) 儀器訓練檢定收費標準 (自2025年4月1日起適用)

以上為中心每月排定課程費用 。

加開課程費用為原價之2倍。
(課程人數需符合最低開課人數)

2025年3月31日以前之舊制儀器訓練暨檢定收費標準請參考以下網址

(新制) 儀器自行操作費用列表 (自2026年5月1日起適用)

收費項目	學術單位	營利機構	備註
潔淨室	3元/分	9元/分
微影製程
Spin Coater (Multi Steps) 光阻旋轉塗佈機 (多段式)	3元/分	9元/分
Aligner (EVG) 曝光機 (EVG)	12元/分	36元/分	精度1um
Aligner (MA6/BA6) 曝光機 (MA6)	10元/分	30元/分	精度2um
乾式蝕刻
Air Plasma 大氣電漿清洗機	3元/分	9元/分
薄膜沉積
E-beam Evaporator 電子束蒸鍍機	11元/分	33元/分
Sputter 濺鍍機	11元/分	33元/分
Parylene Deposition System 聚對二甲基苯沉積系統	11元/分	33元/分
量測分析
Stylus Profiler 探針式表面分析儀	8元/分	24元/分
Semiconductor Analyzer 半導體參數分析儀	8元/分	24元/分
其他製程
Sand-Blaster 噴砂機	150元/30分	450元/30分
Box Furnace 高溫爐	5元/分	15元/分
Dicing Saw 晶圓切割機	16元/分	48元/分

以上為自行操作之儀器使用費；若為委託中心人員代為操作需要「乘以」1.2(學校管理費)

2026年4月30日以前之儀器自行操作費用請參考以下網址

(舊制) 儀器訓練檢定收費標準 (自2024年7月1日起適用)

以上為中心每月排定課程費用。

加開課程費用為原價之2倍。
(課程人數需符合最低開課人數)

(舊制) 儀器訓練暨檢定收費標準 (2024年6月30日以前)

收費項目	學術單位		營利機構		開課人數
	訓練	檢定	訓練	檢定
無塵室一般訓練	500元		1000元		6人開課
微影製程
Laurell Multi / 2 Steps Spin Coater Laurell 多段、兩段式旋轉塗佈機	600元	600元	1,200元	1,200元	3~5人
EVG Aligner EVG 曝光機	600元	600元	1,200元	1,200元	3~5人
Karl Suss Aligner Karl Suss MA6 曝光機	720元	720元	1,440元	1,440元	3~5人
薄膜沉積
E-beam Evaporator 電子束蒸鍍機	600元	600元	1,200元	1,200元	3~5人
New Sputter 新濺鍍機	600元	600元	1,200元	1,200元	3~5人
Parylene Deposition System 聚對二甲基苯沉積系統	600元	600元	1,200元	1,200元	3~5人
量測分析
Probe-Type Surface Analyser 探針式表面分析儀	600元	600元	1,200元	1,200元	3~5人
其他製程
Sand-blaster 噴砂機	300元	300元	600元	600元	3~5人
O2 Plasma 氧電漿清洗機 + Box Furnace 高溫爐 + Optical microscope 光學顯微鏡	600元	600元	1,200元	1,200元	3~5人
New Dicing Saw 新晶圓切割機	600元	600元	1,200元	1,200元	3~5人

以上為中心每月排定課程費用 。

加開課程費用為原價之2倍。
(課程人數需符合最低開課人數)

奈米機電系統研究中心