| 收費項目 |
學術單位 |
營利機構 |
備註 |
| 潔淨室 |
3元/分 |
6元/分 |
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| 分析區 |
Box Furnace
高溫爐 |
5元/分 |
10元/分 |
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New Dicing Saw
新晶圓切割機 |
30分鐘內520元(開機費);
+超過30分鐘時間*15元/分
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30分鐘內1040元(開機費)
+超過30分鐘時間*30元/分
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不足30分鐘以30分鐘計算。 |
Probe-Type Surface Analyser
探針式表面分析儀 |
12元/分 |
24元/分 |
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| 黃光區 |
Laurell Multi Steps / 2 Steps Spin Coater
Laurell 多段、兩段式旋轉塗佈機 |
100+6元/分
(即開機費100元) |
200+12元/分
(即開機費200元) |
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EVG Aligner
單面對準曝光機 |
600+18元/分
(即開機費600元) |
1,200+36元/分
(即開機費1200元) |
精度1um |
Karl Suss Aligner
Karl Suss MA6 曝光機 |
600+18元/分
(即開機費600元) |
1,200+36元/分
(即開機費1200元) |
精度2um |
| 蝕刻區 |
O2 Plasma
氧電漿清洗機 |
3元/分 |
6元/分 |
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| 爐管區 |
E-beam Evaporator
電子束蒸鍍機 |
抽真空不計費，電子束開啟30分鐘內1,040元;
超過30分鐘:1,040+12元/分 |
30分鐘內2,080元;
超過30分鐘:2,080+24元/分 |
不足30分鐘以30分鐘計算。 |
New Sputter
新濺鍍機 |
電子束開啟30分鐘內520元;
超過30分鐘:520+15元/分 |
30分鐘內1,040元;
超過30分鐘:1,040+30元/分 |
不足30分鐘以30分鐘計算。 |
Parylene Deposition System
聚對二甲基苯沉積系統 |
90分鐘內1000元；
超過90分鐘：1000+4元/分 |
90分鐘內2,000元；
超過90分鐘：2,000+8元/分 |
不足90分鐘以90分鐘計算。 |
| 其他 |
Sand-blaster
噴砂機 |
每30分鐘150元 |
每30分鐘300元 |
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