中心現況
臺灣大學工學院暨電機資訊學院奈米機電系統研究中心之任務為：「培育奈米機電系統人才與基礎技術以促進我國產業之發展」。研究中心同時執行人才培育、技術研發與整合、及促進產業發展等工作。本中心經營團隊之經營理念重心在於為我國奈米機電領域培養開創性人才與技術，具體之執行策略為：
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1.
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經由大量之雙向溝通管道建立各系所之互信機制及共識，並共同擬定組織章程以確保基本精神得以延續。
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2.
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建立優質之研究環境及文化以鼓勵各系所研究人員踴躍參與。
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3.
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由中心協調跨系所研究人才與設備之整合，以進行大型研究及人才培育。
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4.
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爭取產業界合作以利中心永續發展。
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本中心位於臺灣大學應用力學研究所，總面積為300平方公尺。其空間規劃概分為：行政室、黃光室、分析室、蝕刻室、爐管室、機電室等。2016年新增卓越研究大樓，增加為超過1,500平方公尺的空間，無塵室潔淨等級提升為CLASS 100與CLASS 1,000，至今科技部以及學校投資硬體設備總額超過三億元。
為建立開放實驗室制度，確保各系所師生及產業界有效利用本中心實驗室，實驗室營運管理強調安全、環保、品質和服務四大要件，其特點為：
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1.安全：
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營運管理人員及所有使用者需通過工業安全衛生訓練及有害化學物質訓練。
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2.環保：
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設立各項廢液、廢氣及廢棄物回收處理設備以符合環保法規。
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3.品質：
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儀器及廠務設備之使用、預防保養、緊急應變、化學藥品及廢棄物處理、訓練課程等各方面，均依ISO9000規範制定相關之作業指導書，並公佈於中心之全球資訊網站，網址為http://nems.ntu.edu.tw。
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4.服務：
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設立電腦網路及線上技術資料庫，建立儀器使用及教育訓練網路預約系統。
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研究目標
研究中心所扮演的角色為系統整合與基礎製程技術之研究，各系所則扮演垂直分工的角色，致力於發展其專長技術，透過資訊、通訊、半導體、自動化和生醫等各項重點產業發展計劃作橫向整合。同時配合我國相關產業發展策略，加速我國奈米機電系統技術以及奈米機電系統產業之發展。本研究中心成立迄今,結合
各大學校院、研究機構及產業界,積極投入微機電系統之相關研究。
學術活動
本中心規劃了一系列的教育訓練課程與專題，提供學術界與產業界完整的專業訓練，現階段教育訓練內容如下：學分課程、基礎技術訓練課程、工業安全衛生訓練課程、儀器訓練與檢定課程等。目前接受本中心各種專業訓練課程與專題者共計超過19,736人次，並有4,092人以上取得本中心實驗室之一般使用資格，另有7,856人次取得各項儀器設備之使用資格。使用者當中，臺灣大學與其他學校之比例大約為6：4，且來自各個不同系所與領域，符合本中心開放實驗室及人才培育之基本理念。本中心並於臺大校內推動「奈米科技學程」，整合工學院、電資學院師資，推出跨領域學程，以因應奈米科技人才需求。
產學合作
為促進奈米機電產業之發展以及本中心之永續經營，產學合作之重點工作項目為人才培育、技術服務與技術共同開發。透過中心綜合國立臺灣大學工學院、電資學院近500位教授與各領域頂尖實驗室所具有豐富的研究創新資源，協助產業界找最適合之學界技術，促進專利及智慧財產的技術移轉，接受產業界專案委託，協助解決實務問題，執行產學合作先導性研究。
未來展望
臺灣大學工學院暨電機資訊學院奈米機電系統研究中心成立迄今已屆滿十七年並邁入第十八個年頭。在營運管理方面,為求有效利用研究資源、拓展製程技術邊際、確保研發品質水準及加速人才培育，未來規劃建立重點為；
(1) 奈米機電技術。
(2) 標準技術資料庫。
(3) 網路版微機電及奈米機電技術共用教材。
臺大奈米機電系統研究中心未來的發展，將扮演學術界與產業界之間的橋樑，建立微/奈米機電系統製程核心技術，推動具前瞻性與開創性之研究，成為國際上微系統奈米機電技術交流的窗口，以期許我國之微/奈米機電領域能在國際上佔有一席之地。