奈米機電系統研究中心

儀器設備列表

微影製程

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

Spin Coater (Multi Steps / 2 Steps) 
光阻旋轉塗佈機 (多段式、兩段式) 

應力所 黃光室

呂國聖

Aligner (EVG)
曝光機 (EVG)

應力所 黃光室

呂國聖

Aligner (MA6/BA6)
曝光機 (MA6/BA6) 

應力所 黃光室

呂國聖

Digital Hot Plate
加熱板

應力所 黃光室

黃詩淳

Oven
烘箱

應力所 黃光室

黃詩淳

乾式蝕刻

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

Air Plasma
大氣電漿清洗機

應力所 薄膜室

陳昱達

薄膜沉積

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

Sputter
濺鍍機

應力所 薄膜室

黃詩淳

2"靶材使用

Parylene Deposition System
聚對二甲基苯沉積系統

應力所 薄膜室

黃詩淳

E-beam Evaporator
電子束蒸鍍機

應力所 薄膜室

黃詩淳

坩堝尺寸:

上直徑 21 mm、下直徑 17 mm、高 1 cm、壁厚 1 mm　

量測分析

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

Probe-Type Surface Analyser
探針式表面分析儀

應力所 量測室

黃詩淳

Optical Microscope
光學顯微鏡

應力所 量測室、黃光室

黃詩淳

其他製程

儀器名稱

儀器位置

儀器負責人

備註

 Box Furnace
高溫爐

應力所 量測室

黃詩淳

Sand-blaster
噴砂機

應力所 廠務室

黃詩淳

Dicing Saw
晶圓精密切割機

應力所 量測室

黃詩淳

Chemical Hood
化學清洗槽

應力所 黃光室、濕蝕刻室

黃詩淳

Ultrasonic Cleaners
超音波清洗器

應力所 黃光室

黃詩淳