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儀器設備列表
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微影製程
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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Spin Coater (Multi Steps )
光阻旋轉塗佈機 (多段式)
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應力所 黃光室
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黃詩淳
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Aligner (EVG)
曝光機 (EVG)
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應力所 黃光室
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黃詩淳
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Digital Hot Plate
加熱板
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應力所 黃光室
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黃詩淳
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Oven
烘箱
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應力所 黃光室
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黃詩淳
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乾式蝕刻
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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Air Plasma
大氣電漿清洗機
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應力所 薄膜室
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陳昱達
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薄膜沉積
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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E-beam Evaporator (Metal)
電子束蒸鍍機(金屬) |
應力所 薄膜室 |
黃詩淳 |
坩堝尺寸：上直徑3.7公分，下直徑2.8公分，高1.75公分，壁厚0.35公分，底厚1公分 |
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Sputter
濺鍍機
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應力所 薄膜室
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黃詩淳
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2"靶材使用
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Parylene Deposition System
聚對二甲基苯沉積系統
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應力所 薄膜室
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黃詩淳
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量測分析
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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Probe-Type Surface Analyser
探針式表面分析儀
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應力所 量測室
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黃詩淳
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Optical Microscope
光學顯微鏡
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應力所 量測室、黃光室
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黃詩淳
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其他製程
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儀器名稱
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儀器位置
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儀器負責人
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備註
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Box Furnace
高溫爐
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應力所 量測室
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黃詩淳
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Sand-blaster
噴砂機
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應力所 廠務室
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黃詩淳
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Dicing Saw
晶圓精密切割機
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應力所 量測室
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黃詩淳
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Chemical Hood
化學清洗槽
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應力所 黃光室、濕蝕刻室
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黃詩淳
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Ultrasonic Cleaners
超音波清洗器 |
應力所 黃光室 |
黃詩淳 |
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Semiconductor Analyzer
半導體分析儀
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應力所 精密分析區
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江至皓
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