儀器設備列表
微影製程
儀器名稱
儀器位置
儀器負責人
備註
Multi Steps / 2 Steps Spin Coater 多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機
應力所 黃光室
呂國聖
EVG Aligner EVG曝光機
Karl Suss Aligner MA6曝光機
Digital Hot Plate 加熱板
黃詩淳
Oven 烘箱
乾式蝕刻
Air Plasma 大氣電漿清洗機
應力所 薄膜室
陳昱達
薄膜沉積
Sputter 濺鍍機
2"靶材使用
Parylene Deposition System 聚對二甲基苯沉積系統
E-beam Evaporator 電子束蒸鍍機
坩堝尺寸:
上直徑 21 mm、下直徑 17 mm、高 1 cm、壁厚 1 mm
量測分析
Probe-Type Surface Analyser 探針式表面分析儀
應力所 量測室
Optical Microscope 光學顯微鏡
應力所 量測室、黃光室
其他製程
Box Furnace 高溫爐
Sand-blaster 噴砂機
應力所 廠務室
Dicing Saw 晶圓精密切割機
Chemical Hood 化學清洗槽
應力所 黃光室、濕蝕刻室
Ultrasonic Cleaners 超音波清洗器