奈米機電系統研究中心

應力所啟用後陸續補上

儀器名稱

晶圓精密切割機

Disco / DAD3221

用途

利用鑽石刀高速旋磨及水柱清潔，將樣本切割成小片的成品顆粒(die)。

儀器規格

• 最大工作區域：6”
• X、Y軸切割最大距離(mm)：X : 160 ； Y: 162
• X切割最大速率(mm/s)：0.1~800
• Y軸步進單位(mm)：0.0001
• Z軸移動解析度:(um)：0.002
• 重複精確性(mm)：0.001
• 平台最大旋轉角：320 deg
• 刀片轉速(min-1)：3000~40000

注意事項

1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
2. 刀高一次僅能往下切0.3mm，不可一次切斷造成刀片負荷過大。
3. 進刀速度不可超過3mm/秒。
4. 中心公用刀片之寬度為0.2mm，刀露量約4mm，因此工作物厚度最高能切4mm。
5. 使用完請用氣槍將防水簾上的水吹乾淨