奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)-儀器設備資料頁面

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奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)

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微影製程
曝光機 (MA8/BA8)-卓越大樓
曝光機 (MA6/BA6)-卓越大樓
Laser lithography DWL 2000 (雷射繪圖機)-卓越大樓
光阻旋轉塗佈機 (多段式、兩段式)-卓越大樓
光阻旋轉塗佈機 (多段式、兩段式)-應力所
Chemical Hood-應力所
曝光機 (EVG)-應力所
曝光機 (MA6)-應力所
Oven-應力所
加熱板
烘箱-卓越大樓
乾式蝕刻
電感耦合電漿蝕刻機 (多材料蝕刻)-卓越大樓
電感耦合電漿蝕刻機 (矽深蝕刻)-卓越大樓
O2 Plasma(氧電漿清洗機)-卓越大樓
RIE Descum-卓越大樓
大氣電漿清洗機-應力
薄膜沉積
E-beam (Metal, Oxide) 電子束蒸鍍機(金屬、氧化物)-卓越大樓
Sputter(濺鍍機)-卓越大樓
LPCVD 低壓化學氣相沉積系統 - 卓越
APCVD 常壓化學氣相沉積系統 - 卓越
PECVD 電漿輔助化學氣相沉積系統 - 卓越
電子束蒸鍍機 - 應力
聚對二甲基苯沉積系統 -應力
濺鍍機 - 應力
量測分析
SEM(掃描式電子顯微鏡)-卓越大樓
EDS(能量色散光譜儀)-卓越大樓
Sputter Coater (SEM 鍍金機)-卓越大樓
Surface Profiler (表面輪廓儀) - 卓越大樓
Laser Confocal Microscope 雷射共軛聚焦顯微鏡 - 卓越大樓
Ellipseometer(橢圓偏振儀)-卓越大樓
Semiconductor Analyzer (半導體參數分析儀) - 卓越大樓
Optical Microscope 光學顯微鏡 - 卓越
Probe-Type Surface Analyser 探針式表面分析儀 - 應力
Optical Microscope 光學顯微鏡 - 應力
Film Thickness Reflectometer 反射式膜厚分析儀 -卓越大樓
其他製程
Dicing Saw 晶圓精密切割機-應力所
Box Furnace (高溫爐)-應力所
化學清洗槽 - 卓越
Rapid Thermal Anneaing 快速熱退火儀 - 卓越
Ultrasonic Cleaners 超音波清洗器 - 卓越
Chemical Hood 化學清洗槽 - 應力
Wafer Bonder 晶片接合機 - 卓越
Sand-blaster 噴砂機 - 應力
Ultrasonic Cleaners 超音波清洗器 - 應力

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電話：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

中心業務：nems "at" mail.nems.ntu.edu.tw

技術服務：nemstech "at" mail.nems.ntu.edu.tw

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更新日期

2024-11-22