奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)-RIE Descum-卓越大樓

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RIE Descum【設備簡介】

廠牌與型號 :

設備管理人:

吳政儒

Art editor Img

設備位置:

卓越無塵室乾蝕刻室

-訓檢及使用費用-

收費項目	校內/學術單位	營利機構
儀器使用費	200+30元/分 (即開機費200元)	400+60元/分 (即開機費400元)

電話：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

中心業務：nems "at" mail.nems.ntu.edu.tw

技術服務：nemstech "at" mail.nems.ntu.edu.tw

地址 : 10617 臺北市羅斯福路四段1號(國立臺灣大學應用力學研究所200室)

No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.)

2024-09-16