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奈米機電系統研究中心

應力所無塵室-課程講義

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無塵室一般訓練 檔案下載
分析區
 Box Furnace
高溫爐
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Dicing Saw - 舊
晶圓精密切割機
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Optical-type surface analyzer
干射暨雷射共軛焦表面分析儀
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Probe-Type Surface Analyzer
探針式表面分析儀
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Optical Microscope
光學顯微鏡
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黃光區
Spin Coater
多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機
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Top Side EVG Aligner
單面對準曝光機
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Karl Suss Aligner MA6
6吋雙面對準曝光機
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蝕刻區
O2 Plasma
氧電漿清洗機
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爐管區
E-beam Evaporator
電子束蒸鍍機
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Sputter - 舊
射頻濺鍍機
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Parylene Deposition System
 聚對二甲基苯沉積系統
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Reactive-Ion Etching
反應離子蝕刻機
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其他
Sand-blaster
噴砂機
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