跳到主要內容區塊

奈米機電系統研究中心

應力所無塵室-課程講義

課程項目 講義連結
無塵室一般訓練 檔案下載
分析區
 Box Furnace
高溫爐
檔案下載
Dicing Saw - 舊
晶圓精密切割機
檔案下載
Optical-type surface analyzer
干射暨雷射共軛焦表面分析儀
檔案下載
Probe-Type Surface Analyzer
探針式表面分析儀
檔案下載
Wire Bonder
打線機
檔案下載
Optical Microscope
光學顯微鏡
檔案下載
黃光區
Spin Coater
多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機
檔案下載
Top Side EVG Aligner
單面對準曝光機
檔案下載
Karl Suss Aligner MA6
6吋雙面對準曝光機
檔案下載
蝕刻區
O2 Plasma
氧電漿清洗機
檔案下載
爐管區
E-beam Evaporator
電子束蒸鍍機
檔案下載
Sputter - 舊
射頻濺鍍機
檔案下載
Parylene Deposition System
 聚對二甲基苯沉積系統
檔案下載
Reactive-Ion Etching
反應離子蝕刻機
檔案下載
其他
Sand-blaster
噴砂機
檔案下載