| 課程項目 |
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| 卓越一般安全訓練 |
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| 黃光區 |
Spin Coater
多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機 |
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Karl Suss Aligner MA8
8吋雙面對準曝光機 |
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Karl Suss Aligner MA6
6吋雙面對準曝光機 |
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Substrate Bonder
晶片接合機 |
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| 爐管區 |
PECVD
電漿輔助化學氣相沉積系統 |
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| 蝕刻區 |
ICP-RIE(Samco)
矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機 |
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ICP-RIE(Oxford)
多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機 |
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RIE Descum
電漿清洗機 |
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O2 Plasma
氧電漿清洗機 |
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Rapid Thermal Anneaing
快速退火爐 |
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| 薄膜區 |
E-beam Evaporator Metal major
電子束蒸鍍機-金屬 |
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E-beam Evaporator Oxide major
電子束蒸鍍機-氧化物 |
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Sputter
射頻濺鍍機 |
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| 分析區 |
SEM
掃描式電子顯微鏡 |
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EDS
能量色散X射線譜 |
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Sputter Coater
SEM鍍金機 |
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Surface Profiler
表面輪廓儀 |
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Laser Scanning Confocal Microscopy
雷射共軛聚焦顯微鏡 |
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Ellipseomete
橢偏儀 |
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Semiconductor Analyzer
半導體參數分析儀 |
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