| 收費項目 |
校內/學術單位 |
營利機構 |
備註 |
| 潔淨室 |
3元/分 |
9元/分 |
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| 化學藥品使用 |
600元/罐 |
1200元/罐 |
丙酮 |
| 空間使用費 |
2400元/年 |
2400元/年 |
大置物櫃 |
| 空間使用費 |
1200元/年 |
1200元/年 |
小置物櫃 |
| 空間使用費 |
3000元/年 |
3000元/年 |
白色鐵櫃(大) |
| 空間使用費 |
2000元/年 |
2000元/年 |
白色鐵櫃(小) |
| 微影製程 |
Spin Coater (Multi Steps / 2 Steps )
光阻旋轉塗佈機 (多段式、兩段式) |
3元/分 |
9元/分 |
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Aligner (MA8/BA8)
曝光機 (MA8/BA8) |
12元/分
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36元/分 |
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Aligner (MA6/BA6)
曝光機 (MA6/BA6) |
10元/分
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30元/分 |
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Laser Lithography (DWL2000)
雷射繪圖機 |
五吋光罩 5200元/片
四吋光罩 4800元/片
(價格包含審圖費及四小時操作費) |
五吋光罩 10000元/片
四吋光罩 9600元/片
(價格包含審圖費及四小時操作費)
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不開放自行操作
特殊使用:
學界:75元/分；業界:150元/分
(製程需先經測試，測試流程請洽中心人員)
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| 薄膜沉積 |
APCVD
常壓化學氣相沉積系統 |
11元/分 |
55元/分 |
(未開放使用) |
LPCVD
低壓化學氣相沉積系統 |
11元/分 |
55元/分 |
(未開放使用) |
PECVD
電漿輔助化學氣相沉積系統 |
12元/分
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60元/分
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E-beam Evaporator ( Metal)
電子束蒸鍍機 (金屬) |
11元/分
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33元/分
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E-beam Evaporator (Oxide)
電子束蒸鍍機 (氧化物) |
11元/分
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33元/分
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Sputter
濺鍍機 |
11元/分
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33元/分
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| 乾式蝕刻 |
ICP-RIE (Si DRIE)
電感耦合電漿蝕刻機 (矽深蝕刻) |
14元/分
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70元/分
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ICP-RIE (Multi Material Etcher)
電感耦合電漿蝕刻機 (多材料蝕刻) |
14元/分
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70元/分
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RIE Descum
電漿清洗機 |
12元/分
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36元/分
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O2 Descum
氧電漿清洗機 |
10元/分
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30元/分
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| 量測分析 |
SEM
掃描式電子顯微鏡 |
10元/分
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30元/分
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EDS
能量色散光譜儀 |
8元/分
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24元/分
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Sputter Coater
SEM鍍金機 |
10元/分
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30元/分
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P-7 Stylus Profiler
表面輪廓儀 |
7元/分
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21元/分
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Laser Confocal Microscope
雷射共軛聚焦顯微鏡 |
7元/分
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21元/分
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Ellipsometer
橢圓偏振儀 |
7元/分
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21元/分
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Semiconductor Analyzer
半導體參數分析儀 |
7元/分
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21元/分
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Film Thickness Reflectometer
反射式膜厚分析儀 |
7元/分
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21元/分
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| 其他製程 |
Wafer Bonder
晶片接合機 |
9元/分 |
45元/分 |
不開放自行操作 |
Optical Microscope
光學顯微鏡 |
1元/分 |
3元/分 |
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Rapid Thermal Anneaing
快速退火爐 |
9元/分
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27元/分
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