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收費項目
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學術單位
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營利機構
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開課人數
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訓練
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檢定
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訓練
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檢定
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卓越大樓實驗室安全訓練
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300元
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600元
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6人開課
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微影製程
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SUSS MA8/BA8
曝光機 MA8/BA8
+
Spin Coater
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1,080元
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1,080元
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2,160元
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2,160元
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3~5人
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SUSS MA6/BA6
曝光機 MA6/BA6
+
Spin Coater
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1,080元
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1,080元
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2,160元
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2,160元
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3~5人
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Laser lithography-DWL2000
雷射繪圖機
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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乾式蝕刻
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Samco ICP
矽蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機
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1,080元
*練習：540元
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1,080元
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2,160元
*練習：1,080元
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2,160元
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3~5人
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Oxford ICPRIE
多材料蝕刻-電感耦合電漿蝕刻機
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1,080元
*練習：540元
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1,080元
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2,160元
*練習：1,080元
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2,160元
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3~5人
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RIE Descum
反應離子蝕刻清洗機
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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O2 Descum
氧電漿清洗機
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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薄膜沉積
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LPCVD
低壓化學氣相沉積系統
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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APCVD
常壓化學氣相沉積系統
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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PECVD
電漿輔助化學氣相沉積系統
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1,080元
*練習：540元
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1,080元
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2,160元
*練習：1,080元
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2,160元
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3~5人
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E-Beam Metal
電子束蒸鍍機(金屬)
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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E-Beam Oxide
電子束蒸鍍機(氧化物)
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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Sputter
濺鍍機
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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量測分析
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SEM
掃描式電子顯微鏡
+
EDS
能量色散光譜儀
+
Sputter Coater
鍍金機
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1,080元
*練習：540元
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1,080元
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2,160元
*練習：1,080元
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2,160元
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3~5人
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Surface Profiler
表面輪廓儀
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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Laser confocal microscope
雷射共軛聚焦顯微鏡
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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Ellipsometer
橢圓偏振儀
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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Semiconductor Analyzer
半導體參數分析儀
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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Film Thickness Reflectometer
反射式膜厚分析儀
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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其他製程
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Wafer bonder
晶片接合機
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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不開放自行操作
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Rapid Thermal Anneaing
快速熱退火儀
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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