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(舊制) 儀器訓練暨檢定收費標準 (自2024年7月1日起適用) - 卓越大樓無塵室

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(舊制) 儀器訓練暨檢定收費標準 (自2024年7月1日起適用) - 卓越大樓無塵室

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(舊制) 儀器訓練暨檢定收費標準 (自2024年7月1日起適用) 

 收費項目 學術單位 營利機構 開課人數
　 訓練 檢定 訓練 檢定 　
Safety Training 300元 600元 6人開課
微影製程

MA8 Aligner

(含Spin Coater)

 1,080元 1,080元 2,160元 2,160元 3~6人

MA6 Aligner

(含Spin Coater)

 1,080元 1,080元 2,160元 2,160元 3~6人
Laser lithography-DWL2000 不開放自行操作 不開放自行操作 不開放自行操作 不開放自行操作 　
乾式蝕刻
Samco ICP 1,080元 1,080元 2,160元 2,160元 3~6人
Oxford ICP 1,080元 1,080元 2,160元 2,160元 3~6人
RIE Descum 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
O2 Plasma 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
薄膜沉積
LPCVD 不開放自行操作 不開放自行操作 不開放自行操作 不開放自行操作 　
APCVD 不開放自行操作 不開放自行操作 不開放自行操作 不開放自行操作 　
Oxford PECVD 1,080元 1,080元 2,160元 2,160元 3~6人
E-beam Evap 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
Sputter 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
量測分析

SEM/EDS

(含Sputter Coater)

 1,080元
*練習：540元		 1,080元 2,160元
*練習：1,080元		 2,160元 3~4人
P-7 Stylus Profiler 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
Laser Confocal 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
Ellipsometer 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
Semi Analyzer 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
F20 Reflectometer 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人
其他製程
Wafer Bonder 不開放自行操作 不開放自行操作 不開放自行操作 不開放自行操作  
RTA 720元 720元 1,440元 1,440元 3~6人

 以上為中心每月排定課程費用 。

加開課程費用為原價之2倍 。
(課程人數需符合最低開課人數)

 

2024年6月30日以前之舊制儀器訓練暨檢定收費標準請參考以下網址

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Fax：02-2364-3894

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No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.)

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更新日期

2025-04-04