奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)-Ellipseometer(橢圓偏振儀)-卓越大樓

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		儀器名稱	橢圓偏振儀 HORIBA Scientific / AUTO SE
		用途	利用橢圓偏振光量測透明或半透明的薄膜厚度。
儀器規格	光譜範圍：450~1000nm 光斑尺寸：25x60um~500x500um，共7種樣品平台尺寸：4吋以下精準度：NIST 100nm d ± 4Å，n(632.8nm) ± 0.002
注意事項	只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。內建模組包含：基板為Si、glass；單層薄膜為SiO2、Al2O3、PZT、SiNx、Si3N4、ITO、TEOS、a-Si、Polymer、PMMA 其他材料請洽中心人員。
使用手冊	手冊_橢圓偏振儀
儀器課程名稱	[CRE] Ellipsometer

電話：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

中心業務：nems "at" mail.nems.ntu.edu.tw

技術服務：nemstech "at" mail.nems.ntu.edu.tw

地址 : 10617 臺北市羅斯福路四段1號(國立臺灣大學應用力學研究所200室)

No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.)

2024-11-22