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奈米機電系統研究中心

Ellipseometer(橢圓偏振儀)-卓越大樓

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儀器名稱

橢圓偏振儀

HORIBA Scientific / AUTO SE

用途

利用橢圓偏振光量測透明或半透明的薄膜厚度。

儀器規格

  • 光譜範圍:450~1000nm
  • 光斑尺寸:25x60um~500x500um,共7種
  • 樣品平台尺寸:4吋以下
  • 精準度:NIST 100nm d ± 4Å,n(632.8nm) ± 0.002

注意事項

  1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
  2. 內建模組包含:基板為Si、glass;單層薄膜為SiO2、Al2O3、PZT、SiNx、Si3N4、ITO、TEOS、a-Si、Polymer、PMMA
  3. 其他材料請洽中心人員。

使用手冊

  手冊_橢圓偏振儀

儀器課程名稱

  • [CRE] Ellipsometer