奈米機電系統研究中心

儀器名稱

化學清洗槽

用途

提供安全之作業環境,以利化學藥品之處理與使用。

儀器規格

• HF/酸/鹼化學清洗槽：
  • 電源：110 V*2、220V*2
  • 本體材質：SIMONA PP 10 mm 象牙白抗靜電板
  • 拉門：CLEAR PVC 8 mm
  • 回收槽：HF、H2SO4、鹼性藥品
  • 回收桶：AU蝕刻液、重金屬酸
• 有機化學清洗槽：
  • 電源：110 V*2、220V*2
  • 本體材質：SUS304 1.5mm不銹鋼板
  • 拉門：防爆玻璃 8 mm
  • 回收槽：有機藥品
• 共同尺寸：
  • 本體尺寸：2700W x 900D x 2200H mm
  • DI gun：TEFLON 材質
  • N2 gun：TEFLON 材質
  • 清洗槽：500W x 400D x 250H mm
  • 黃光室：鹼*1 有機*1
  • 蝕刻室：酸*2 鹼*2 有機*2

注意事項

1. 操作請戴上耐酸鹼手套。
2. 請依標示將使用廢液倒入廢液槽。