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奈米機電系統研究中心

O2 Plasma(氧電漿清洗機)-卓越大樓

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儀器名稱

氧電漿清洗機

用途

樣品表面清潔與改質。

儀器規格

l   載台大小 : 4”晶圓

l   最高能量 : 200W

l   最大進氣量 : 100SCCM

注意事項

  1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。

使用說明書

l   使用者手冊

l   User manual

儀器課程名稱 l   [CRE] O2 Plasma