奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)-Surface Profiler (表面輪廓儀)

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		儀器名稱	表面輪廓儀 KLA-Tencor’s P-7 stylus Profiler
		用途	量測物體二維表面輪廓及粗糙度。
儀器規格	l Profiler 2D和Apex 2D表面分析軟件 l 5百萬畫素鏡頭 l 探針針頭半徑:2um，60度 l 載台大小 : 6”晶圓，可吸真空，手動θ軸 l 156毫米掃描長度
注意事項	只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。禁止光阻及軟性物質進入量測。
使用說明書	l 使用者手冊 l User manual
儀器課程名稱	l [CRE] P-7 Stylus Profiler

電話：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

中心業務：nems "at" mail.nems.ntu.edu.tw

技術服務：nemstech "at" mail.nems.ntu.edu.tw

地址 : 10617 臺北市羅斯福路四段1號(國立臺灣大學應用力學研究所200室)

No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.)

2024-11-25

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