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奈米機電系統研究中心

Surface Profiler (表面輪廓儀) - 卓越大樓

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儀器名稱

表面輪廓儀

KLA-Tencor’s P-7 stylus Profiler

用途

量測物體二維表面輪廓及粗糙度。

儀器規格

l   Profiler 2DApex 2D表面分析軟件

l   5百萬畫素鏡頭

l   探針針頭半徑:2um60

l   載台大小 : 6”晶圓,可吸真空,手動θ軸

l   156毫米掃描長度

注意事項

  1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
  2. 禁止光阻及軟性物質進入量測。

使用說明書

l   使用者手冊

l   User manual