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奈米機電系統研究中心

SEM(掃描式電子顯微鏡)-卓越大樓

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儀器名稱

掃描式電子顯微鏡(SEM)

HITACHI / FE-SEM S-4800

用途

透過電子散佈在樣品表面,可突破可見光能觀測的極限,觀測樣品表面形貌。

儀器規格

  • 加速電壓:0.5~30kV
  • 放大倍率:20~500,000 X
  • 可觀察範圍:x:0~25mm;y:0~25mm;z:5~30mm
  • 傾斜:-5~45度;旋轉:360度
  • 試片大小限制:直徑2吋以內

注意事項

  1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
  2. 不可進腔體的樣品種類:易揮發物質;磁性物質。
  3. 粉體物質需先聯絡中心報備後始可觀測。
  4. 若樣品為非導體,建議先在表面鍍導電性佳的材料(使用一旁的鍍金機)再觀察。
  5. 不可使用USB,以免造成電腦中毒。存取檔案請使用光碟燒錄。

使用手冊

   手冊_掃描式子顯微鏡

儀器課程名稱

  • [CRE] SEM/EDS