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奈米機電系統研究中心

聚對二甲基苯沉積系統 -應力

儀器名稱

聚對二甲基苯沉積系統
拉奇 / LH300

儀器圖片

用途

將聚對二甲基苯沉積於元件表面,常用於封裝或防水等功能

儀器規格

  • 材料為 Parylene C 及 N 型
  • 真空沉積室容積:300mm × 300mm

注意事項

  1. 只有已通過檢定之使用者允許操作本儀器。
  2. 可觀看教學影片後,直接報名檢定課程。

相關資源

儀器課程名稱

  • [IAM] Parylene Coater