奈米機電系統研究中心

儀器名稱

化學清洗槽

用途

提供安全之作業環境,以利化學藥品之處理與使用。

儀器規格

l   HF/酸/鹼化學清洗槽

n   電源:110 V、220V。

n   本體材質:SIMONA PP 10 mm 象牙白抗靜電板。

n   拉門:CLEAR PVC 8 mm。

n   回收槽:HF、H2SO4、鹼性藥品

n   回收桶：AU、重金屬酸

l   有機化學清洗槽

n   電源:110 V、220V。

n   本體材質:SUS304 1.5mm不銹鋼板。

n   拉門:防爆玻璃 8 mm。

n   回收槽:有機藥品

l   共同尺寸：

n   本體尺寸:2700W x 900D x 2200H mm。

n   DI gun:TEFLON 材質。

n   N2 gun:TEFLON 材質。

n   清洗槽:500W x 400D x 250H mm。

注意事項

1. 操作請戴上耐酸鹼手套。
2. 請依標示將使用廢液倒入廢液槽
3. 提供之公用藥品有：

• ​​​​​​​鹼性藥品：TMAH 2.38%、KOH、NH4OH
• 酸性藥品：硫酸、雙氧水、氫氟酸、BOE(二氧化矽蝕刻液)、鹽酸、硝酸、磷酸、醋酸
• 有機藥品：丙酮、異丙醇、甲醇、酒精(99.8%)