奈米機電系統研究中心

儀器名稱

能量分散式X射線元素分析儀(EDS)

HORIBA / EX270

用途

Energy-dispersive X-ray spectroscopy元素成分分析。

儀器規格

• 加速電壓：0.5~30kV
• 放大倍率：20~500,000 X
• 可觀察範圍：x:0~25mm；y:0~25mm；z:5~30mm
• 傾斜：-5~45度；旋轉:360度
• 試片大小限制：直徑2吋以內

注意事項

1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
2. 不可進腔體的樣品種類：易揮發物質；磁性物質。
3. 粉體物質需先聯絡中心報備後始可觀測。
4. 若樣品為非導體，建議先在表面鍍導電性佳的材料(使用一旁的鍍金機)再觀察。
5. 不可使用USB，以免造成電腦中毒。存取檔案請使用光碟燒錄。

使用手冊

  手冊_能量分散式X-ray元素分析儀