奈米機電系統研究中心

儀器名稱

半導體分析儀

Keysight / B1500A

用途

半導體電子材料、奈米元件之電性量測 (I-V)。

儀器規格

l   Keysight/B1500A:

n   最大輸出範圍 200 V / 1 A

n   最小量測解析度 0.1 fA / 0.5 µV

l   Probe-station:

n   載台大小 : 8”晶圓

n   四隻探針:

n   探針(tungsten tip)移動距離: X、Y、Z皆 12mm，微距移動。

注意事項

1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
2. 小心探針使用

使用說明書

l   使用者手冊

l   User manual

儀器課程名稱

l   [CRE] Semi Analyzer