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E-beam (Metal, Oxide) 電子束蒸鍍機(金屬、氧化物)-卓越大樓
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E-beam (Metal, Oxide) 電子束蒸鍍機(金屬、氧化物)-卓越大樓
E-beam (Metal, Oxide) 電子束蒸鍍機(金屬、氧化物)-卓越大樓
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E-Beam Metal (Oxide)-卓越大樓
儀器名稱
電子束蒸鍍機
用途
以電子束加熱靶材,使材料熔解並氣化,氣態薄膜材料移動到基板上形成固體薄膜。
儀器規格
坩堝尺寸:上直徑3.7公分,下直徑2.8公分,高1.75公分,壁厚0.35公分,底厚1公分
基板尺寸:4”wafer ╳ 8個
石英振盪片:鍍金,6MHZ
注意事項
只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
金屬與氧化物之材料分別在專屬機台中使用,請依需求預約相應之機台。
請自備靶材、坩堝。
鍍膜超過7500Å,請自備石英振盪片。
坩堝中放置材料請加至八分滿。
使用手冊
使用者手冊
user manual
儀器課程名稱
[CRE] E-beam Evap