儀器名稱
反射式膜厚分析儀
Filmetrics / F20
用途
膜厚量測。
儀器規格
l 光譜量測波長範圍:380-1050nm
l 光源:D2、鹵素燈
l 可量測厚度:15nm~70um
l 量測N & k值最薄厚度:100nm
l 量測精準度:2nm
l 重複量測穩定度:0.05nm
l 光點大小:1.5mm
l 可量測樣本大小: 1mm~300mm
注意事項
1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。
2. 光纖請勿凹折、過度彎曲(彎曲半徑需要>150 mm)。
3. 無法量測透明樣本。
使用說明書
l 使用者手冊
l User manual
儀器課程名稱
l [CRE] F20 Reflectometer