跳到主要內容區塊

奈米機電系統研究中心

Film Thickness Reflectometer 反射式膜厚分析儀 -卓越大樓

Art editor Img

儀器名稱

反射式膜厚分析儀

Filmetrics / F20

用途

膜厚量測。

儀器規格

l   光譜量測波長範圍:380-1050nm

l   光源:D2、鹵素燈

l   可量測厚度:15nm~70um

l   量測N & k值最薄厚度:100nm

l   量測精準度:2nm

l   重複量測穩定度:0.05nm

l   光點大小:1.5mm

l   可量測樣本大小: 1mm~300mm

注意事項

1.      只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。

2.      光纖請勿凹折、過度彎曲(彎曲半徑需要>150 mm)

3.      無法量測透明樣本。

使用說明書

l   使用者手冊

l   User manual