奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)-Spin Coater-應力所

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Spin Coater(多段式、兩段式光阻旋轉塗佈機)【設備簡介】

廠牌與型號 :

Laurell

設備管理人:

呂國聖

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設備位置:

應力所無塵室黃光室

-訓檢及使用費用-

收費項目

校內/學術單位

營利機構

儀器使用費

100+6元/分

(即開機費100元)

200+12元/分

(即開機費100元)

電話：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

中心業務：nems "at" mail.nems.ntu.edu.tw

技術服務：nemstech "at" mail.nems.ntu.edu.tw

地址 : 10617 臺北市羅斯福路四段1號(國立臺灣大學應用力學研究所200室)

No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.)

2024-05-17