奈米機電系統研究中心

儀器名稱

非接觸式片電阻量測系統SURAGUS /

EddyCus® lab 2020 TM

用途

非接觸式方式測量片電阻

儀器規格

Ÿ   量測技術：非接觸式渦電流感測器（Non-contact eddy current sensor）

Ÿ   適用基材：薄膜、玻璃、晶圓等（Foils, glass, wafer, etc.）

Ÿ   樣品尺寸：10×10 mm² ～ 200×200 mm²（約 8×8 in²）

Ÿ   片電阻範圍：0.001 ～ 3,000 Ohm/sq

注意事項

1. 只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。

2.      只限量測金屬及可導電薄膜樣品 (R_s < 3000 Ohm/sq)。

使用手冊

手冊_非接觸式片電阻量測系統

儀器課程名稱

[CRE] Contactless Rs System