		儀器名稱	APCVD Tempress
		用途	Annealing Diffusion process
儀器規格	Wafer size：4” Process wafer load：25
注意事項	暫不啟用。

電話：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

中心業務：nems "at" mail.nems.ntu.edu.tw

技術服務：nemstech "at" mail.nems.ntu.edu.tw

地址 : 10617 臺北市羅斯福路四段1號(國立臺灣大學應用力學研究所200室)

No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.)

2024-05-17