奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)-Laser Confocal Microscope 雷射共軛聚焦顯微鏡

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		儀器名稱	雷射共軛聚焦顯微鏡 KEYENCE / VK-X210
		用途	以共軛焦原理去除雜訊，觀測樣品表面結構。
儀器規格	物鏡倍率：10 X, 20 X, 50 X, 150 X 高度量測：範圍7mm，解析度0.5nm 寬度量測：解析度1nm 樣品平台尺寸：6吋以下
注意事項	只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。不可使用USB，以免造成電腦中毒。存取檔案請使用光碟燒錄。

電話：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

中心業務：nems "at" mail.nems.ntu.edu.tw

技術服務：nemstech "at" mail.nems.ntu.edu.tw

地址 : 10617 臺北市羅斯福路四段1號(國立臺灣大學應用力學研究所200室)

No. 1, Sec. 4, Roosevelt Rd., Taipei 10617, Taiwan (R.O.C.)

2024-05-17

奈米機電系統研究中心