奈米機電系統研究中心(半導體製程重點技術平台)-E-beam Metal (Oxide) 電子束蒸鍍機(金屬、氧化物)-卓越大樓

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		儀器名稱	電子束蒸鍍機
		用途	以電子束加熱靶材，使材料熔解並氣化，氣態薄膜材料移動到基板上形成固體薄膜。
儀器規格	坩堝尺寸：上直徑3.7公分，下直徑2.8公分，高1.75公分，壁厚0.35公分，底厚1公分基板尺寸：4”wafer ╳ 8個石英振盪片：鍍金，6MHZ
注意事項	只有已通過訓練及檢定之使用者允許操作本儀器。金屬與氧化物之材料分別在專屬機台中使用，請依需求預約相應之機台。請自備靶材、坩堝。鍍膜超過7500Å，請自備石英振盪片。坩堝中放置材料請加至八分滿。
使用手冊	手冊_電子束蒸鍍機

電話：02-3366-5063，02-3366-5064

Fax：02-2364-3894

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2024-05-17