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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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Oxford ICP-RIE(卓越)
(最少2人，上限3人)
3/4訓練
3/25檢定
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9:30-10:30
橢偏儀(卓越)
3/5訓練
3/12檢定
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E-Gun氧化物及金屬(卓越)
3/7訓練
3/14檢定
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PECVD(卓越)
(最少3人，上限5人)
3/4 訓練
3/25 檢定
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10:30-11:30
RTA(卓越)
3/5訓練
3/12檢定
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Karl Suss Aligner MA6(卓越)
(含spin coater)
3/21訓練
3/28檢定
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SEM+EDS
(卓越)
3/11[練習]
3/18[練習]
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Karl Suss Aligner MA8 (卓越)
(含spin coater)
3/19訓練
3/26檢定
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下午
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14：00
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17：00
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雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
3/4訓練
3/11檢定
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13：00-17：30
3/5
實驗室一般訓練
(應力231室)
(上限20人)
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13：30-16：00
3/6
卓越大樓
安全訓練
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Sputter(卓越)
3/7訓練
3/14檢定
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SEM+EDS
(卓越)
(最少2人，上限3人)
3/8訓練
3/29檢定
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14:00-16:00
PECVD(卓越)
3/18 [練習]
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14:00-16:00
PECVD(卓越)
3/12 [練習]
3/19 [練習]
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SEM+EDS
(卓越)
3/13[練習]
3/20[練習]
3/27[練習]
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O2 Descum_
Photoresist
(卓越)
3/21訓練
3/28檢定
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14:00-16:00
Samco ICP(卓越)
3/15[練習]
3/22[練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
3/11[練習]
3/18[練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
3/12[練習]
3/19[練習]
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17:00-18:00
Samco ICP(卓越)
3/13[練習]
3/20[練習]
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16:00-18:00
PECVD(卓越)
3/14 [練習]
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16:00-18:00
PECVD(卓越)
3/8 [練習]
3/15 [練習]
3/22 [練習]
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Samco ICP(卓越)
3/25[練習]
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16:00-19:00
Samco ICP(卓越)
(最少2人，上限3人)
3/12訓練
3/26檢定
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
3/21[練習]
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