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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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Oxford ICP-RIE(卓越)
(最少2人，上限3人)
4/1訓練
4/29檢定
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雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
4/9訓練
4/16檢定
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Karl Suss Aligner MA8(卓越)
(含Spin Coater)
4/11訓練
4/18檢定
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PECVD(卓越)
(最少3人，上限5人)
4/1 訓練
4/29 檢定
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Sputter(卓越)
4/23訓練
4/30檢定
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PECVD(卓越)
4/25[練習]
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PECVD(卓越)
4/8[練習]
4/15[練習]
4/22[練習]
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PECVD(卓越)
4/2[練習]
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下午
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14：00
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17：00
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13：00-17：30
4/1
實驗室一般訓練
(應力109室)
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13：30-16：00
4/2
卓越大樓
安全訓練
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SEM+EDS
(卓越)
(最少2人，上限3人)
4/3訓練
4/24檢定
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E gun氧化物及金屬(卓越)
4/11訓練
4/18檢定
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Samco ICP(卓越)
4/12[練習]
4/19[練習]
4/26[練習]
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14:00-16:00
SEM+EDS
(卓越)
4/8[練習]
4/15[練習]
4/22[練習]
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16:00-19:00
Samco ICP(卓越)
(最少2人，上限3人)
4/2訓練
4/30檢定
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14:00-15:00
橢偏儀(卓越)
4/3訓練
4/10檢定
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Oxford ICP-RIE
(卓越)
4/25[練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
4/8[練習]
4/15[練習]
4/22[練習]
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Karl Suss Aligner MA6(卓越)
(含Spin Coater)
4/9訓練
4/16檢定
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15:00-17:00
RTA(卓越)
4/3訓練
4/10檢定
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O2 descum(卓越)
4/23訓練
4/30檢定
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SEM+EDS
(卓越)
4/17[練習]
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Oxford ICP-RIE
(卓越)
4/24[練習]
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