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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
5/15訓練
5/22檢定
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RIE介電材料(卓越)
5/2訓練
5/9檢定
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Spin Coater(應力)
5/10訓練
5/17檢定
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SEM+EDS(卓越)
5/4訓練
5/11檢定
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新Sputter
（應力）
5/5訓練
5/12檢定
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E-beam
Evaporator(應力)
5/15 訓練
5/22 檢定
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RIE光阻材料(卓越)
5/2訓練
5/9檢定
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橢偏儀(卓越)
5/4訓練
5/11檢定
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EVG Aligner(應力)
5/5訓練
5/12檢定
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Karl Suss Aligner MA8(卓越)
5/16訓練
5/23檢定
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Oxford ICP-RIE
(卓越)
5/18訓練
5/25檢定
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RTA(卓越)
5/18訓練
5/25檢定
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下午
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14：00
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17：00
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13：00-17：30
5/8實驗室一般訓練(應力109室)
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13：30-15：30
5/9卓越大樓
安全訓練
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Probe-Type Surface Analyser (應力)
5/17訓練
5/24檢定
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Karl Suss Aligner MA6(卓越)
5/4訓練
5/11檢定
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新Dicing Saw
(應力)
5/5訓練
5/12檢定
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PECVD(卓越)
5/15 訓練
5/22檢定
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E-Gun氧化物及金屬(卓越)
5/16訓練
5/23檢定
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Sputter(卓越)
5/18訓練
5/25檢定
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O2 Plasma +Box Furnace(應力)
5/19訓練
5/26檢定
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Parylene(應力)
5/15訓練
5/22檢定
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ICP-RIE(卓越)
(SAMCO)
5/16訓練
5/23檢定
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