(舊制) 儀器自行操作費用列表 (自2026年4月30日以前適用)-應力所無塵室
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收費項目
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學術單位
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營利機構
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備註
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潔淨室
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3元/分
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9元/分
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微影製程
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Spin Coater (Multi Steps)
光阻旋轉塗佈機 (多段式)
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3元/分
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9元/分
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Aligner (EVG)
曝光機 (EVG)
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12元/分
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36元/分
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精度1um
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Aligner (MA6/BA6)
曝光機 (MA6)
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10元/分
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30元/分
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精度2um
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乾式蝕刻
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Air Plasma
大氣電漿清洗機
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3元/分
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9元/分
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薄膜沉積
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E-beam Evaporator
電子束蒸鍍機
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11元/分
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33元/分
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Sputter
濺鍍機
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11元/分
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33元/分
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Parylene Deposition System
聚對二甲基苯沉積系統
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11元/分
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33元/分
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量測分析
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Stylus Profiler
探針式表面分析儀
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7元/分
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21元/分
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其他製程
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Sand-Blaster
噴砂機
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150元/30分
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450元/30分
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Box Furnace
高溫爐
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5元/分
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15元/分
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Dicing Saw
晶圓切割機
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16元/分
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48元/分
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以上為自行操作之儀器使用費；若為委託中心人員代為操作需要「乘以」1.2(學校管理費)