| 收費項目 |
校內/學術單位 |
營利機構 |
備註 |
| 潔淨室 |
3元/分 |
6元/分 |
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| 化學藥品使用 |
600元/罐 |
1200元/罐 |
丙酮 |
| 空間使用費 |
2400元/年 |
2400元/年 |
大置物櫃 |
| 空間使用費 |
1200元/年 |
1200元/年 |
小置物櫃 |
| 空間使用費 |
3000元/年 |
3000元/年 |
白色鐵櫃(大) |
| 空間使用費 |
2000元/年 |
2000元/年 |
白色鐵櫃(小) |
| 微影製程 |
Spin Coater (Multi Steps / 2 Steps )
光阻旋轉塗佈機 (多段式、兩段式) |
3元/分 |
6元/分 |
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Aligner (MA8/BA8)
曝光機 (MA8/BA8) |
420(前30分鐘不計費)+11元/分
(即開機費420元) |
840+22元/分
(即開機費840元) |
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Aligner (MA6/BA6)
曝光機 (MA6/BA6) |
350(前30分鐘不計費)+9元/分
(即開機費350元) |
700(前30分鐘不計費)+18元/分
(即開機費700元) |
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Laser Lithography (DWL2000)
雷射繪圖機 |
8,400元 六吋
6,000元 五吋
5,400元 四吋
600元(審圖費/小時) |
16,800元 六吋
12,000元 五吋
10,800元 四吋
1,200元(審圖費/小時) |
不開放自行操作
特殊使用:
學界:75元/分；業界:150元/分
(製程需先經測試，測試流程請洽中心人員)
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| 薄膜沉積 |
APCVD
常壓化學氣相沉積系統 |
1,000+18-20元/分(即開機費1,000元；依材料) |
2,000+36-40元/分(即開機費2,000元；依材料) |
(未開放使用) |
LPCVD
低壓化學氣相沉積系統 |
1,000+18-36元/分(即開機費1,000元；依材料) |
2,000+36-72元/分(即開機費2,000元；依材料) |
(未開放使用) |
PECVD
電漿輔助化學氣相沉積系統 |
600+30元/分
(即開機費600元) |
1,200+60元/分
(即開機費1,200元) |
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E-beam Evaporator ( Metal)
電子束蒸鍍機 (金屬) |
30分鐘內520元;
超過30分鐘: 520+6元/分 |
30分鐘內1,040元;
超過30分鐘: 1,040+12元/分 |
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E-beam Evaporator (Oxide)
電子束蒸鍍機 (氧化物) |
30分鐘內520元;
超過30分鐘: 520+6元/分 |
30分鐘內1,040元;
超過30分鐘: 1,040+12元/分 |
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Sputter
濺鍍機 |
30分鐘內520元;
超過30分鐘: 520+15元/分 |
30分鐘內1,040元;
超過30分鐘: 1,040+30元/分 |
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| 乾式蝕刻 |
ICP-RIE (Si DRIE)
電感耦合電漿蝕刻機 (矽深蝕刻) |
240(前5分鐘免費)+72元/分
(即開機費240元) |
480(前5分鐘免費)+144元/分
(即開機費480元) |
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ICP-RIE (Multi Material Etcher)
電感耦合電漿蝕刻機 (多材料蝕刻) |
240(前5分鐘免費)+72元/分
(即開機費240元) |
480(前5分鐘免費)+144元/分
(即開機費480元) |
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RIE Descum
電漿清洗機 |
200+30元/分
(即開機費200元) |
400+60元/分
(即開機費400元) |
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O2 Descum
氧電漿清洗機 |
240+36元/分
(即開機費240元) |
480+72元/分
(即開機費480元) |
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| 量測分析 |
SEM
掃描式電子顯微鏡 |
60分鐘內720元;
超過60分鐘:720+360元/30分
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60分鐘內1,440元;
超過60分鐘:1,440+720元/30分
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不足30分鐘以30分鐘計算 |
EDS
能量色散光譜儀 |
240元/30分 |
480元/30分 |
不足30分鐘以30分鐘計算 |
Sputter Coater
SEM鍍金機 |
300元/30分 |
600元/30分 |
不足30分鐘以30分鐘計算 |
Surface Profiler
表面輪廓儀 |
7元/分 |
14元/分 |
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Laser confocal microscope
雷射共軛聚焦顯微鏡 |
7元/分 |
14元/分 |
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Ellipsometer
橢圓偏振儀 |
7元/分 |
14元/分 |
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Semiconductor Analyzer
半導體參數分析儀 |
7元/分 |
14元/分 |
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Film Thickness Reflectometer
反射式膜厚分析儀 |
7元/分 |
14元/分 |
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| 其他製程 |
Wafer bonder
晶片接合機 |
60分鐘內510元;
超過60分鐘:510+6元/分 |
60分鐘內1,020元;
超過60分鐘:1,020+12元/分 |
不開放自行操作 |
Optical Microscope
光學顯微鏡 |
1元/分 |
2元/分 |
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Rapid Thermal Anneaing
快速退火爐 |
120分鐘內900元；超過120分鐘:900+6元/分 |
120分鐘內1,800元；超過120分鐘:1,800+12元/分 |
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