(舊制) 儀器訓練暨檢定收費標準 (2024年6月30日以前)
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收費項目
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學術單位
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營利機構
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開課人數
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訓練
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檢定
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訓練
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檢定
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無塵室一般訓練
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500元
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1000元
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6人開課
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微影製程
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Laurell Multi / 2 Steps Spin Coater
Laurell 多段、兩段式旋轉塗佈機
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600元
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600元
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1,200元
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1,200元
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3~5人
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EVG Aligner
EVG 曝光機
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600元
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600元
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1,200元
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1,200元
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3~5人
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Karl Suss Aligner
Karl Suss MA6 曝光機
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720元
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720元
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1,440元
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1,440元
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3~5人
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薄膜沉積
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E-beam Evaporator
電子束蒸鍍機
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600元
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600元
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1,200元
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1,200元
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3~5人
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New Sputter
新濺鍍機
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600元
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600元
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1,200元
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1,200元
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3~5人
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Parylene Deposition System
聚對二甲基苯沉積系統
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600元
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600元
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1,200元
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1,200元
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3~5人
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量測分析
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Probe-Type Surface Analyser
探針式表面分析儀
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600元
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600元
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1,200元
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1,200元
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3~5人
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其他製程
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Sand-blaster
噴砂機
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300元
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300元
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600元
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600元
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3~5人
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O2 Plasma
氧電漿清洗機
+
Box Furnace
高溫爐
+
Optical microscope
光學顯微鏡
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600元
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600元
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1,200元
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1,200元
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3~5人
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New Dicing Saw
新晶圓切割機
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600元
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600元
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1,200元
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1,200元
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3~5人
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以上為中心每月排定課程費用 。
加開課程費用為原價之2倍 。
(課程人數需符合最低開課人數)