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三月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表 (地點：應力所[IAM]/卓越大樓無塵室[CRE])
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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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3/9
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
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3/10
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
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3/4
*Safety Training
Online Test
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**[CRE]
Laser Confocal
3/12檢定
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3/6
* Safety Training
Online Test
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上午
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09：30
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12：30
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[CRE]
Sputter
3/16訓練
3/23檢定
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**[CRE] RTA
3/17檢定
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[IAM] Dicing Saw
3/4訓練
3/11檢定
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**[IAM]
Furnace+Air Plasma
3/6檢定
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE] Ellipsometer
3/9檢定
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[CRE]
MA6 Aligner
3/18訓練
3/25檢定
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE] P-7 Stylus Profiler
3/2檢定
3/9檢定
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上午
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09：30
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12：30
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[CRE]
E-beam Evap
3/2訓練
3/9檢定
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下午
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14：00
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18：00
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3/9
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
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3/10
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
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3/4
* Safety Training
Online Test
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[CRE] SEM/EDS
3/5訓練
3/12練習
3/19練習
3/26檢定
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3/6
* Safety Training
Online Test
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE]
MA8 Aligner
3/2訓練
3/9檢定
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[CRE] SEM/EDS
3/3訓練
3/10練習
3/17練習
3/24檢定
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[CRE] E-beam Evap
3/4訓練
3/11檢定
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**[IAM] Stylus Profiler
3/6檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE] Oxford ICP
3/2訓練
3/9檢定
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[CRE]
MA6 Aligner
3/17訓練
3/24檢定
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[IAM]
Sputter
3/18訓練
3/25檢定
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**[IAM] Parylene Coater
3/13檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE]
MA8 Aligner
3/16訓練
3/23檢定
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下午
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14：00
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18：00
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