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二月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表 (地點：應力所[IAM]/卓越大樓無塵室[CRE])
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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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[CRE] Sputter
2/2訓練
2/9檢定
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[CRE]
MA6 Aligner
2/3訓練
2/10檢定
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2/4
*Safety Training
Online Test
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**[CRE]
Laser Confocal
2/12檢定
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE] Ellipsometer
2/9檢定
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[CRE]
E-beam Evap
2/4訓練
2/11檢定
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE] P-7 Stylus Profiler
2/2檢定
2/9檢定
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**[IAM]
Furnace+Air Plasma
2/4檢定
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上午
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09：30
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12：30
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下午
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14：00
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18：00
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2/9
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
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**[IAM] Stylus Profiler
2/3檢定
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2/4
* Safety Training
Online Test
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下午
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14：00
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18：00
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**[CRE] RTA
2/2檢定
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**[IAM] Parylene Coater
2/10檢定
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[IAM] Dicing Saw
2/4訓練
2/11檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE]
MA8 Aligner
2/2訓練
2/9檢定
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[CRE] Samco ICP
2/4訓練
2/11檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE] Oxford ICP
2/2訓練
2/9檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE] Oxford PECVD
2/2訓練
2/9檢定
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