|
一月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表 (地點：應力所[IAM]/卓越大樓無塵室[CRE])
|
|
|
節次
|
時間
|
一
|
二
|
三
|
四
|
五
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
1/12
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
|
1/13
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
|
1/7
*Safety Training
Online Test
|
**[IAM]
Furnace+Air Plasma
1/8檢定
|
1/9
* Safety Training
Online Test
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
**[CRE]
Laser Confocal
1/19檢定
|
**[CRE]
RIE Descum
1/20檢定
|
[CRE]
E-beam Evap
1/14訓練
1/21檢定
|
|
**[CRE] RTA
1/16檢定
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
**[CRE] Ellipsometer
1/26檢定
|
[CRE]
MA6 Aligner
1/20訓練
1/27檢定
|
[IAM]
Sputter
1/14訓練
1/21檢定
|
|
[CRE] Oxford PECVD
1/16訓練
1/23檢定
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
**[CRE] P-7 Stylus Profiler
1/19檢定
1/26檢定
|
|
[IAM]
Semi Analyzer
1/14訓練
1/21檢定
|
|
[IAM]
EVG Aligner
(含Spin Coater)
1/23訓練
1/30檢定
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
1/12
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
|
1/13
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
|
1/7
* Safety Training
Online Test
|
[CRE]
MA6 Aligner
1/15訓練
1/22檢定
|
1/9
* Safety Training
Online Test
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
[CRE] Sputter
1/19訓練
1/26檢定
|
[CRE]
MA8 Aligner
1/20訓練
1/27檢定
|
[IAM] Dicing Saw
1/14訓練
1/21檢定
|
[CRE] E-beam Evap
1/15訓練
1/22檢定
|
**[IAM] Stylus Profiler
1/16檢定
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
[CRE]
MA8 Aligner
1/19訓練
1/26檢定
|
|
[CRE] Samco ICP
1/14訓練
1/21檢定
|
|
**[IAM] Parylene Coater
1/23檢定
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
[CRE] Oxford ICP
1/12訓練
1/19檢定
|
|
|
|
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
|
|
|
|
|