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十一月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表 (地點：應力所[IAM]/卓越大樓無塵室[CRE])
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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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11/10
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
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11/11
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
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11/5
*Safety Training
Online Test
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**[CRE] RTA
11/13檢定
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11/7
* Safety Training
Online Test
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE]
Laser Confocal
11/17檢定
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**[CRE]
RIE Descum
11/11檢定
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[CRE]
E-beam Evap
11/12訓練
11/19檢定
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**[CRE]
O2 Plasma
11/27檢定
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[IAM]
EVG Aligner
(含Spin Coater)
11/14訓練
11/21檢定
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE] Ellipsometer
11/24檢定
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[CRE] Oxford ICP
11/18訓練
11/25檢定
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[IAM]
Sputter
11/12訓練
11/19檢定
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE] P-7 Stylus Profiler
11/17檢定
11/24檢定
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[CRE]
MA6 Aligner
11/18訓練
11/25檢定
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下午
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14：00
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18：00
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11/10
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
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11/11
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
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11/5
* Safety Training
Online Test
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11/6
* Safety Training
Online Test
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE] Sputter
11/17訓練
11/24檢定
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**[CRE]
F20 Reflectometer
11/11檢定
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[IAM] Dicing Saw
11/12訓練
11/19檢定
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[CRE] E-beam Evap
11/13訓練
11/20檢定
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**[IAM] Stylus Profiler
11/14檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE]
MA8 Aligner
11/17訓練
11/24檢定
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[CRE]
MA8 Aligner
11/18訓練
11/25檢定
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[CRE] Samco ICP
11/12訓練
11/19檢定
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[CRE]
MA6 Aligner
11/13訓練
11/20檢定
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**[IAM] Parylene Coater
11/21檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE] Oxford PECVD
11/18訓練
11/25檢定
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**[IAM]
Furnace+Air Plasma
11/26檢定
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下午
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14：00
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18：00
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