奈米機電系統研究中心

*

黃底課程為線上課程，請線上觀看並於上課當天完成線上測驗。

影片連結

https://webpageprodvm.ntu.edu.tw/nems/cp.aspx?n=98430

**

綠底課程，取消實體訓練課，請 1.觀看線上影片 / 2.自行找具有權限的使用者訓練後，報名檢定課程。

影片連結

https://webpageprodvm.ntu.edu.tw/nems/cp.aspx?n=98430

十月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表     (地點：應力所[IAM]/卓越大樓無塵室[CRE])

節次

時間

一

二

三

四

五

上午

09：30
|
12：30

10/13
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)

10/14
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)

10/1
 *Safety Training
Online Test

**[IAM]
Furnace+Air Plasma
10/9檢定

10/3
* Safety Training
Online Test

上午

09：30
|
12：30

**[CRE] RTA
10/20檢定

**[CRE]
RIE Descum
10/14檢定

 [CRE]
 E-beam Evap
10/15訓練
10/22檢定

**[IAM] Parylene Coater
10/30檢定

**[CRE] P-7 Stylus Profiler
10/17檢定
10/24檢定

上午

09：30
|
12：30

[CRE] Oxford ICP
10/21訓練
10/28檢定

[IAM]
Sputter
10/8訓練
10/15檢定

**[CRE]
 O2 Plasma
10/17檢定　

上午

09：30
|
12：30

[CRE]
MA6 Aligner
10/21訓練
10/28檢定

[IAM]
EVG Aligner
(含Spin Coater)
10/22訓練
10/29檢定

下午

14：00
|
18：00

10/13
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)

10/14
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)

10/1
* Safety Training
Online Test

**[CRE] Ellipsometer
10/9檢定

10/3
* Safety Training
Online Test

下午

14：00
|
18：00

**[CRE]
Laser Confocal
10/20檢定

**[CRE]
 F20 Reflectometer
10/14檢定

[IAM] Dicing Saw
10/8訓練
10/15檢定

[CRE]
MA6 Aligner
10/23訓練
10/30檢定

**[IAM] Stylus Profiler
10/17檢定

下午

14：00
|
18：00

[CRE]
 MA8 Aligner
10/21訓練
10/28檢定

[CRE] Samco ICP
10/22訓練
10/29檢定

[CRE] E-beam Evap
10/23訓練
10/30檢定

下午

14：00
|
18：00

[CRE] Oxford PECVD
10/21訓練
10/28檢定

[CRE] Sputter
10/22訓練
10/29檢定

下午

14：00
|
18：00

下午

14：00
|
18：00

下午

14：00
|
18：00