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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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PECVD(卓越)
6/3 訓練
6/17 檢定
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雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
6/4訓練
6/11檢定
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Karl Suss Aligner MA8(卓越)
(含spin coater)
6/6訓練
6/13檢定
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Oxford ICP-RIE(卓越)
6/17訓練
6/24檢定
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Sputter(卓越)
6/18訓練
6/25檢定
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反射式膜厚分析儀
(卓越)
6/20訓練
6/27檢定
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下午
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14：00
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17：00
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13：00-17：30
6/3
實驗室一般訓練
(應力109室)
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6/4
卓越大樓
安全訓練
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SEM+EDS
(卓越)
6/5訓練
6/19[練習]
6/26檢定
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E gun氧化物及金屬(卓越)
6/6訓練
6/13檢定
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O2 plasma _Photoresist
(卓越)
6/7訓練
6/14檢定
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SEM+EDS
(卓越)
6/17[練習]
6/24[練習]
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Karl Suss Aligner MA6(卓越)
(含spin coater)
6/18訓練
6/25檢定
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14:00-15:00
橢偏儀(卓越)
6/20訓練
6/27檢定
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Samco ICP(卓越)
6/17訓練
6/24檢定
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15:00-17:00
RTA(卓越)
6/20訓練
6/27檢定
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表面輪廓儀
(卓越)
6/17訓練
6/24檢定
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