節次
|
時間
|
一
|
二
|
三
|
四
|
五
|
上午
|
09:30
|
12:30
|
Samco ICP(卓越)
1/15[練習]
1/22[練習]
|
9:30-10:30
橢偏儀(卓越)
1/9訓練
1/16檢定
|
Samco ICP(卓越)
1/10[練習]
1/17[練習]
|
E-Gun氧化物及金屬(卓越)
1/4訓練
1/11檢定
|
|
Oxford ICP-RIE(卓越)
1/8訓練
1/22檢定
|
10:30-11:30
RTA(卓越)
1/9訓練
1/16檢定
|
PECVD(卓越)
1/10 [練習]
|
Karl Suss Aligner MA6(卓越)
(含spin coater)
1/18訓練
1/25檢定
|
|
PECVD(卓越)
1/8 訓練
1/15[練習]
1/22 檢定
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
下午
|
14:00
|
17:00
|
雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
1/8訓練
1/15檢定
|
13:00-17:30
1/9
實驗室一般訓練
(應力231室)
(上限20人)
|
13:30-16:00
1/10
卓越大樓
安全訓練
|
Karl Suss Aligner MA8 (卓越)
(含spin coater)
1/4訓練
1/11檢定
|
SEM+EDS
(卓越)
1/5[訓練]
1/12[練習]
1/19檢定
|
SEM+EDS
(卓越)
1/8[練習]
1/15[練習]
|
PECVD(卓越)
1/16 [練習]
|
PECVD(卓越)
1/17 [練習]
|
Sputter(卓越)
1/18訓練
1/25檢定
|
PECVD(卓越)
1/19 [練習]
|
16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
1/15[練習]
|
16:00-19:00
Samco ICP(卓越)
1/9訓練
1/23檢定
|
SEM+EDS
(卓越)
1/17練習
|
16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
1/11[練習]
1/18[練習]
|
Spin Coater(卓越)
限112年4月之前上過曝光機課程,但尚未有spin coater權限之使用者
1/5 訓練
1/12 檢定
|
|
16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
1/16[練習]
|
16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
1/10[練習]
1/17[練習]
|
|
|
|
|
|
|
|