跳到主要內容區塊

奈米機電系統研究中心

中心公告

113年1月份無塵室訓檢課程時間表(12/20 10:30開始接受報名)
  • 發布單位:奈米機電系統研究中心

                  一月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表     (地點:應力所/卓越大樓無塵室)

節次

時間

上午

0930

|

1230

Samco ICP(卓越)

1/15[練習]

1/22[練習]

9:30-10:30

橢偏儀(卓越)

1/9訓練

1/16檢定

Samco ICP(卓越)

1/10[練習]

1/17[練習]

E-Gun氧化物及金屬(卓越)

1/4訓練

1/11檢定

 

Oxford ICP-RIE(卓越)

1/8訓練

1/22檢定

10:30-11:30

RTA(卓越)

1/9訓練

1/16檢定

PECVD(卓越)

1/10 [練習]

Karl Suss Aligner MA6(卓越)

(spin coater)

1/18訓練

1/25檢定

 

PECVD(卓越)

1/8 訓練

1/15[練習]

1/22 檢定

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

下午

1400

|

1700

雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)

1/8訓練

1/15檢定

1300-1730

1/9

實驗室一般訓練

(應力231)

(上限20)

1330-1600

1/10

卓越大樓

安全訓練

Karl Suss Aligner MA8 (卓越)

(spin coater)

1/4訓練

1/11檢定

SEM+EDS

(卓越)

1/5[訓練]

1/12[練習]

1/19檢定

SEM+EDS

(卓越)

1/8[練習]

1/15[練習]

PECVD(卓越)

1/16 [練習]

PECVD(卓越)

1/17 [練習]

Sputter(卓越)

1/18訓練

1/25檢定

PECVD(卓越)

1/19 [練習]

16:00-18:00

Oxford ICP-RIE

(卓越)

1/15[練習]

16:00-19:00

Samco ICP(卓越)

1/9訓練

1/23檢定

SEM+EDS

(卓越)

1/17練習

16:00-18:00

Oxford ICP-RIE

(卓越)

1/11[練習]

1/18[練習]

Spin Coater(卓越)

1124月之前上過曝光機課程,但尚未有spin coater權限之使用者

1/5 訓練

1/12 檢定

 

16:00-18:00

Oxford ICP-RIE

(卓越)

1/16[練習]

16:00-18:00

Oxford ICP-RIE

(卓越)

1/10[練習]

1/17[練習]