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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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Samco ICP(卓越)
1/15[練習]
1/22[練習]
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9:30-10:30
橢偏儀(卓越)
1/9訓練
1/16檢定
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Samco ICP(卓越)
1/10[練習]
1/17[練習]
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E-Gun氧化物及金屬(卓越)
1/4訓練
1/11檢定
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Oxford ICP-RIE(卓越)
1/8訓練
1/22檢定
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10:30-11:30
RTA(卓越)
1/9訓練
1/16檢定
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PECVD(卓越)
1/10 [練習]
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Karl Suss Aligner MA6(卓越)
(含spin coater)
1/18訓練
1/25檢定
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PECVD(卓越)
1/8 訓練
1/15[練習]
1/22 檢定
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下午
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14：00
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17：00
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雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
1/8訓練
1/15檢定
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13：00-17：30
1/9
實驗室一般訓練
(應力231室)
(上限20人)
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13：30-16：00
1/10
卓越大樓
安全訓練
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Karl Suss Aligner MA8 (卓越)
(含spin coater)
1/4訓練
1/11檢定
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SEM+EDS
(卓越)
1/5[訓練]
1/12[練習]
1/19檢定
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SEM+EDS
(卓越)
1/8[練習]
1/15[練習]
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PECVD(卓越)
1/16 [練習]
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PECVD(卓越)
1/17 [練習]
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Sputter(卓越)
1/18訓練
1/25檢定
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PECVD(卓越)
1/19 [練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
1/15[練習]
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16:00-19:00
Samco ICP(卓越)
1/9訓練
1/23檢定
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SEM+EDS
(卓越)
1/17練習
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
1/11[練習]
1/18[練習]
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Spin Coater(卓越)
限112年4月之前上過曝光機課程，但尚未有spin coater權限之使用者
1/5 訓練
1/12 檢定
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
1/16[練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
1/10[練習]
1/17[練習]
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