奈米機電系統研究中心

*

黃底課程為線上課程，請線上觀看並於上課當天完成線上測驗。

影片連結

https://webpageprodvm.ntu.edu.tw/nems/cp.aspx?n=98430

**

綠底課程，取消實體訓練課，請 1.觀看線上影片 / 2.自行找具有權限的使用者訓練後，報名檢定課程。

影片連結

https://webpageprodvm.ntu.edu.tw/nems/cp.aspx?n=98430

***

藍底課程，恢復實體訓練課，但仍開放影片、或找具有權限者自行訓練後，報名檢定課程。

說明:

由於儀器搬遷至三樓而暫停開課之儀器：PECVD、E-Beam Metal/Dielectric

Semiconductor Analyzer-IAM若有開課需求請洽管理人員江至皓博士(kases9029@mail.nems.ntu.edu.tw)

十月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表  (地點：應力所[IAM]/卓越大樓無塵室[CRE])

節次

時間

一

二

三

四

五

上午

09：30
|
12：30

10/5
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)

10/6
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)

***[CRE]
Laser Confocal
10/7 訓練

10/14 檢定

10/1
* Safety Training
Online Test

10/2
 *Safety Training
Online Test

上午

09：30
|
12：30

[CRE] Wafer Bonder

10/5 訓練

10/12 檢定

[CRE] Contactless Rs System

10/6 訓練

10/13 檢定

**[CRE] RTA
10/7檢定

　**[IAM] Stylus Profiler
10/22檢定

[IAM] Sputter
10/16訓練
10/23檢定

上午

09：30
|
12：30

　**[CRE] O2 Descum
10/19檢定

**[CRE] P-7 Stylus Profiler
10/6訓練
10/13檢定

**[CRE] Ellipsometer
10/14檢定

**[IAM]
Furnace+Air Plasma
10/29檢定

**[IAM] Parylene Coater
10/30檢定

上午

09：30
|
12：30

下午

14：00
|
18：00

10/5
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)

10/6
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)

[CRE] SEM/EDS
10/7訓練

10/14練習

10/21練習
10/28檢定

10/1
* Safety Training
Online Test

10/2
* Safety Training
Online Test　

下午

14：00
|
18：00

[CRE] Oxford ICP
10/5訓練
10/12檢定

[CRE] Samco ICP

10/6 訓練

10/13 檢定

[IAM] Dicing Saw
10/15訓練
10/22檢定

[IAM] E beam Metal
10/16訓練
10/23檢定

下午

14：00
|
18：00

[CRE]
 MA6 Aligner
10/12訓練
10/19檢定

[CRE]
 MA8 Aligner
10/13訓練
10/20檢定

**[IAM] Spin Coater
10/30檢定

下午

14：00
|
18：00

下午

14：00
|
18：00