各位教授與使用者您好：
由於卓越研究大樓3樓無塵室新建工程因國際情勢影響與設備規劃調整而延遲，原預計現已封存設備(PECVD、Sputter、E-gun oxide、半導體分析儀)將於10月於3樓無塵室重新開放之時程將延後於明年4月底前開放。另由於近期奈米機電系統研究中心與半導體製程及系統研究中心致力於升級與更新卓越無塵室之規模與硬體設備，未來陸續也將有部分設備位置調整與場地工程作業，但因實際執行時間仍尚未確定，為使各位使用者提前準備也在此先行預告，待執行時間確定後會再另外公告，中心在此再次向各位教授與使用者致上誠摯的歉意。
l 延後復機設備：
為降低對研究與實驗進度之影響，中心提供相關替代設備之使用方案如下
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封存設備
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替代設備
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NEMS-PECVD
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SPSR-ICPCVD
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NEMS-Sputter
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應力所Sputter(metal)
SPSR-UHV Sputter(oxide/nitride)
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E-gun oxide
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視材料，建議可使用
SPSR-PEALD/Thermal ALD
SPSR-ICPCVD
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半導體分析儀
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SPSR-半導體參數分析儀/真空探針台
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※ SPSR 新設備之使用權限，需另行完成相關訓練與檢定課程後方可取得，詳情請見https://gsat.ntu.edu.tw/spsr/tw/cp_n_201445.html。
l 未來規劃移動至三樓無塵室之設備：
NEMS- RIE descum、O2 descum、SB6e(Wafer bonder)、MA6、Ellipsometer
以上設備將盡可能避免拆機封存，預計於三樓無塵室完工後再行移機，若有調整將及早公告通知。
l 廠務CDA系統更新作業：
卓越研究大樓無塵室廠務之CDA系統預計於明年4月或5月進行更新，屆時因舊有CDA系統須拆除與新CDA系統需裝機，無塵室將關廠維護，待時程確定後將另行公告。
再次向各位使用者之不便與困擾致上歉意，以上如有任何相關問題，歡迎隨時聯絡中心人員，謝謝各位的體諒與配合。