(新制) 儀器自行操作費用列表 (自2026年5月1日起適用)
https://webpageprodvm.ntu.edu.tw/nems/cp.aspx?n=204160
以下為有異動之收費項目：
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收費項目
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校內/學術單位
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營利機構
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備註
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舊制
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新制
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舊制
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新制
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SEM
掃描式電子顯微鏡
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10元/分
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15元/分
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30元/分
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45元/分
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EDS
能量色散光譜儀
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8元/分
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24元/分
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取消此收費項目
與SEM合併共用卡機
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P-7 Stylus Profiler
表面輪廓儀
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7元/分
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8元/分
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21元/分
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24元/分
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Laser Confocal Microscope
雷射共軛聚焦顯微鏡
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7元/分
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8元/分
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21元/分
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24元/分
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Ellipsometer
橢圓偏振儀
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7元/分
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8元/分
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21元/分
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24元/分
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Semiconductor Analyzer
半導體參數分析儀
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7元/分
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8元/分
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21元/分
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24元/分
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Film Thickness Reflectometer
反射式膜厚分析儀
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7元/分
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8元/分
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21元/分
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24元/分
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Contactless Sheet Resistance Measurement System
非接觸式片電阻量測系統
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8元/分
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--
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24元/分
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新購置之儀器
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空間使用費
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2400元/年
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2400元/年
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2400元/年
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7200元/年
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大置物櫃
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空間使用費
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1200元/年
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1200元/年
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1200元/年
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3600元/年
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小置物櫃
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空間使用費
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3000元/年
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3000元/年
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3000元/年
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9000元/年
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白色鐵櫃(大)
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空間使用費
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2000元/年
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2000元/年
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2000元/年
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6000元/年
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白色鐵櫃(小)
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空間使用費
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2000元/年
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--
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6000元/年
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黃光置物櫃
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