|
五月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表 (地點：應力所[IAM]/卓越大樓無塵室[CRE])
|
|
|
節次
|
時間
|
一
|
二
|
三
|
四
|
五
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
5/11
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
|
5/12
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
|
5/6
*Safety Training
Online Test
|
5/7
* Safety Training
Online Test
|
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
**[CRE] P-7 Stylus Profiler
5/11訓練
5/18檢定
|
***[CRE]
Laser Confocal
5/19 訓練
5/26 檢定
|
**[CRE] Ellipsometer
5/13檢定
|
**[IAM]
Furnace+Air Plasma
5/14檢定
|
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
**[CRE] RTA
5/18檢定
|
|
[CRE]
MA6 Aligner
5/6訓練
5/13檢定
|
**[IAM] Stylus Profiler
5/28檢定
|
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
|
|
[IAM] Sputter
5/20訓練
5/27檢定
|
|
|
|
上午
|
09：30
|
12：30
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
5/11
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
|
5/12
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
|
5/6
* Safety Training
Online Test
|
5/7
* Safety Training
Online Test
|
**[IAM] Parylene Coater
5/15檢定
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
[CRE]
MA8 Aligner
5/11訓練
5/18檢定
|
[CRE] SEM/EDS
5/5訓練
5/12練習
5/19練習
5/26檢定
|
[CRE] SEM/EDS
5/6訓練
5/13練習
5/20練習
5/27檢定
|
[IAM] Dicing Saw
5/7訓練
5/14檢定
|
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
[CRE] Oxford ICP
5/11訓練
5/18檢定
|
[CRE]
MA6 Aligner
5/19訓練
5/26檢定
|
|
|
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
[CRE]片電阻量測系統
5/18 訓練
5/25 檢定
|
[CRE] Samco ICP
5/19 訓練
5/26 檢定
|
|
|
|
|
下午
|
14：00
|
18：00
|
|
|
|
|
|