各位教授與使用者您好：
因半導體製程及系統研究中心（下稱 SPSR）新設備 ICPCVD進場時程變動，奈米機電系統研究中心（下稱 NEMS）相關場地與設備配置需緊急配合進行調整，因此NEMS–PECVD預計自 2/10 起停機，並已於今年二月初對外通知。由於時程臨時調整，未能及早向各實驗室充分說明，致使使用者於實驗安排上產生不便與困擾，中心在此向各位教授與使用者致上誠摯的歉意。
為降低對研究與實驗進度之影響，中心提供相關替代設備之使用方案，並說明 NEMS 未來受影響之設備規劃如下：
1. NEMS – PECVD：
自2/10起停機，預計於10月於卓越大樓3F新無塵室進行復機，原使用權限不受影響。
停機期間可使用SPSR – ICPCVD（預計5月中開放）作為替代。
2. NEMS – Sputter / E-gun Metal：
預計於4月起停機，並於10月於卓越大樓 3F 新無塵室進行復機，原使用權限不受影響
停機期間可使用SPSR – UHV Sputter/E gun（預計7月開放）作為替代。
3. NEMS – E-gun Oxide：
預計於4月起停機，並於10月於卓越大樓3F新無塵室進行復機，原使用權限不受影響。
※ SPSR 新設備之使用權限，需另行完成相關訓練與檢定課程後方可取得。
停機期間，使用者亦可視研究需求，前往下列單位詢問相關製程作業：（詳見下方說明）
NEMS與SPSR再次向各位使用者致上歉意，以上如有任何相關問題，歡迎隨時聯絡中心人員，謝謝各位的體諒與配合。