原卓越2樓無塵室之半導體分析儀將於未來移機至卓越大樓三樓無塵室(尚未完工)， 原具有使用權限之使用者將保留權限，開放時將另行公告。 卓越無塵室新建置之半導體分析儀預計於12月正式開放， 由於新系統由重點科技研究學院之半導體製程及系統研究中心管理， 請原具有舊半導體分析儀權限者預約使用前請先洽詢 江至皓 博士後研究員(eddiechiang@ntu.edu.tw)，謝謝 半導體製程及系統研究中心網站( https://gsat.ntu.edu.tw/spsr/tw/)
原卓越2樓無塵室之半導體分析儀將於未來移機至卓越大樓三樓無塵室(尚未完工)，
原具有使用權限之使用者將保留權限，開放時將另行公告。
卓越無塵室新建置之半導體分析儀預計於12月正式開放，
由於新系統由重點科技研究學院之半導體製程及系統研究中心管理，
請原具有舊半導體分析儀權限者預約使用前請先洽詢
江至皓 博士後研究員(eddiechiang@ntu.edu.tw)，謝謝
半導體製程及系統研究中心網站( https://gsat.ntu.edu.tw/spsr/tw/)