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十二月奈米機電系統研究中心儀器訓練/檢定課程表 (地點：應力所[IAM]/卓越大樓無塵室[CRE])
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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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12/8
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
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12/9
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
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12/3
*Safety Training
Online Test
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**[IAM]
Furnace+Air Plasma
12/11檢定
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12/5
* Safety Training
Online Test
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE]
Laser Confocal
12/15檢定
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**[CRE]
RIE Descum
12/16檢定
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[CRE]
E-beam Evap
12/10訓練
12/17檢定
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[IAM]
EVG Aligner
(含Spin Coater)
12/12訓練
12/19檢定
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE] Ellipsometer
12/22檢定
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[CRE]
MA6 Aligner
12/16訓練
12/23檢定
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[IAM]
Sputter
12/10訓練
12/17檢定
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[CRE] Oxford PECVD
12/12訓練
12/19檢定
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上午
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09：30
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12：30
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**[CRE] P-7 Stylus Profiler
12/15檢定
12/22檢定
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[IAM]
Semi Analyzer
12/10訓練
12/17檢定
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下午
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14：00
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18：00
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12/8
[IAM] Cleanroom Training
(應力109)
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12/9
[CRE] Cleanroom Training
(卓越2F)
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12/3
* Safety Training
Online Test
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[CRE] E-beam Evap
12/11訓練
12/18檢定
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12/5
* Safety Training
Online Test
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE] Sputter
12/15訓練
12/22檢定
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[CRE]
MA8 Aligner
12/16訓練
12/23檢定
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[IAM] Dicing Saw
12/10訓練
12/17檢定
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[CRE]
MA6 Aligner
12/11訓練
12/18檢定
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**[IAM] Stylus Profiler
12/12檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE]
MA8 Aligner
12/15訓練
12/22檢定
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[CRE] Samco ICP
12/10訓練
12/17檢定
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**[IAM] Parylene Coater
12/19檢定
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下午
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14：00
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18：00
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[CRE] Oxford ICP
12/8訓練
12/15檢定
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下午
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14：00
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18：00
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