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節次
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時間
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一
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二
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三
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四
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五
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上午
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09：30
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12：30
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Oxford ICP-RIE(卓越)
(最少2人，上限3人)
5/6訓練
5/27檢定
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9:30-10:30
橢偏儀(卓越)
5/7訓練
5/14檢定
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PECVD(卓越)
5/8[練習]
5/22[練習]
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Karl Suss Aligner MA6(卓越)
(含Spin Coater)
5/9訓練
5/16檢定
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11:00-12:00
SEM+EDS
(卓越)
5/17[練習]
5/24[練習]
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雷射共軛聚焦顯微鏡(卓越)
5/6訓練
5/13檢定
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10:30-11:30
RTA(卓越)
5/7訓練
5/14檢定
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E-Gun氧化物及金屬(卓越)
5/23訓練
5/30檢定
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Samco ICP(卓越)
5/20[練習]
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Karl Suss Aligner MA8 (卓越)
(含Spin Coater)
5/21訓練
5/28檢定
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下午
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14：00
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17：00
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PECVD(卓越)
(最少3人，上限5人)
5/6 訓練
5/27 檢定
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13：00-17：00
5/7
實驗室一般訓練
(應力231室)
(上限20人)
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5/8
卓越大樓
安全訓練
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SEM+EDS
(卓越)
5/9訓練
5/30檢定
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14:00-15:00
O2 Descum_
Photoresist
(卓越)
5/10訓練
5/17檢定
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Samco ICP(卓越)
(最少2人，上限3人)
5/6訓練
5/27檢定
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14:00-16:00
PECVD(卓越)
5/14 [練習]
5/21 [練習]
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SEM+EDS
(卓越)
5/15[練習]
5/22[練習]
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Sputter(卓越)
5/9訓練
5/16檢定
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15:00-17:00
Samco ICP(卓越)
5/10[練習]
5/17[練習]
5/24[練習]
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14:00-16:00
PECVD(卓越)
5/13 [練習]
5/20[練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
5/14[練習]
5/21[練習]
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17:00-18:00
Samco ICP(卓越)
5/15[練習]
5/22[練習]
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14:00-16:00
PECVD(卓越)
5/23 [練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
5/13[練習]
5/20[練習]
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SEM+EDS
(卓越)
5/28[練習]
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16:00-18:00
Oxford ICP-RIE
(卓越)
5/23[練習]
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